激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器，在高端制造領域應用廣泛。

激光干涉儀的工作原理

激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，最后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

激光干涉儀可以完成哪些測量？

1、在機械制造領域中，可以用來檢測零部件的尺寸誤差和形狀誤差。
2、幾何參量高精密測量：激光干涉儀可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量。
3、精密運動設備導軌的檢測：激光干涉儀可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
4、同步測量：激光干涉儀可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量。
5、回轉軸的測量與校準：激光干涉儀可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準。
6、動態(tài)測量與分析：激光干涉儀具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。
7、誤差補償表生成：激光干涉儀可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據。
8、環(huán)境補償：激光干涉儀支持手動或自動進行環(huán)境補償。

SJ6000激光干涉儀應用