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羅姆與Quanmatic攜手合作旨在將量子技術(shù)應用于半導體工藝

中科院半導體所 ? 來源:EETOP ? 2023-12-28 11:42 ? 次閱讀
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EDS是半導體制造中的一個重要過程,戰(zhàn)略性地位于制造步驟和封裝階段之間。

半導體生產(chǎn)過程中,電子裸片分選(EDS,Electrical Die Sorting)工藝測試晶圓上芯片的電氣特性。這一階段對于確保高產(chǎn)量下的可靠設(shè)備至關(guān)重要。

然而,EDS 是一個復雜的過程,在生產(chǎn)過程中可能會導致嚴重的生產(chǎn)速度減慢。

量子技術(shù),尤其是量子退火方法,在解決組合優(yōu)化問題方面已在各行各業(yè)獲得廣泛應用。在

半導體制造領(lǐng)域,可能的工藝組合數(shù)量呈指數(shù)級增長,量子技術(shù)可以找到以前用經(jīng)典計算方法無法實現(xiàn)的最佳解決方案。方案結(jié)合了量子計算技術(shù)和豐富知識和數(shù)據(jù)。

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EDS 過程

測試表明,利用率和交付延遲率等關(guān)鍵性能指標得到了顯著改善,同時計算時間也縮短了。

什么是EDS (Electrical Die Sorting)?

EDS是半導體制造中的一個重要過程,戰(zhàn)略性地位于制造步驟和封裝階段之間。它的主要目的是通過確保每個芯片在進入后續(xù)階段之前符合質(zhì)量標準來提高半導體良率。EDS 涉及幾個關(guān)鍵步驟。

1 電氣測試和晶圓老化

電氣測試 (ET) 涉及測量集成電路元件的直流電壓和電流特性,以評估標稱運行情況。ET 之后,晶圓老化過程會加熱晶圓并使其承受交流和直流電流,以識別缺陷、弱點和潛在問題,從而顯著提高產(chǎn)品可靠性。

2 熱/冷測試

此階段在不同于正常溫度的溫度下測試芯片,以識別有缺陷的芯片??尚迯偷男酒瑫粯擞浺怨┤蘸笮拚?,確保它們在不同的溫度范圍內(nèi)完美運行。

3 維修/最終測試

在熱/冷測試中被認為可修復的芯片進行修復。最終測試證實了這些修復的有效性。

4 標記

EDS 流程的最后一步涉及標記有缺陷的芯片,包括未通過熱/冷測試、修復不當或晶圓上不完整的芯片。有缺陷的芯片被排除在裝配之外,從而節(jié)省了材料、設(shè)備、時間和勞動力。

5 全規(guī)模生產(chǎn)

EDS 對于在晶圓級分揀有缺陷的半導體芯片、解決制造或設(shè)計步驟中的問題以及提高封裝和測試階段的效率至關(guān)重要。通過及早清除有缺陷的芯片,EDS 大大提高了半導體的生產(chǎn)率,而良品率則是一項關(guān)鍵的性能指標。







審核編輯:劉清

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原文標題:量子技術(shù)被用于大規(guī)模半導體生產(chǎn)

文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導體所】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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