近日，北京北方華創(chuàng)新型微電子旗下的子公司——北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，成功獲得一項名為“半導體腔室及設備”的重要發(fā)明專利。該項專利公布于中國國家知識產(chǎn)權局，授權公告號CN220665444U，公告日期為2024年3月26日。其初始申請日期為2023年7月27日。

此實用新型主要涉及一種半導體腔室以及相關設備。這個集成的腔室內(nèi)包含了幾個關鍵組件，如腔室本體、基座組件（負責放置圓晶）、磁流體組件（由驅(qū)動件和固定件組成，其中，固定件位于腔室本體外部，而驅(qū)動件則可旋轉(zhuǎn)并密封于固定件之上），可以實現(xiàn)驅(qū)動件從腔室本體外部穿入到內(nèi)部，并固定于基座組件上。

這個設計還特別配備了一個調(diào)平機構，它固定于腔室本體的外墻上，同時也將固定件與之相連。通過這樣的方式，不僅能調(diào)整磁流體組件的設立角度，進而改變支撐面的角度，還可以大大簡化反應器的調(diào)節(jié)過程，節(jié)省時間精力，減少維護成本，有效提升生產(chǎn)效率。