近日，青島芯笙微納電子科技有限公司（簡稱“青島芯笙”）在氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）方面取得重大突破，攻克了長期以來阻礙國產(chǎn)半導體級MFC發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)壁壘，成功開發(fā)出基于高速壓電比例閥的兩款半導體級MFC產(chǎn)品，產(chǎn)品具有極高的精度、可靠性以及5倍于現(xiàn)有產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

為什么要發(fā)展半導體級MFC？

MFC，即質(zhì)量流量控制器，是一種能夠精確測量和控制流體質(zhì)量流量的精密儀器，是確保工藝過程準確性和產(chǎn)品一致性的關(guān)鍵功能單元。MFC在半導體工藝的各個環(huán)節(jié)中都發(fā)揮著不可或缺的作用，例如，在過程工藝（刻蝕、鍍膜等）環(huán)節(jié)，用于對混合氣體的各組分流量、以及裝備真空度進行實時監(jiān)測或調(diào)節(jié)，確?；旌蠚怏w比例精確；在材料清洗環(huán)節(jié)，用于控制工藝過程中的氮氣流量，確保清潔和干燥的效果；在超凈間等基礎(chǔ)設(shè)施中，用于對環(huán)境氣體潔凈度和風速進行長期穩(wěn)定控制。為保證半導體制造過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的質(zhì)量，通常要求MFC產(chǎn)品具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性、且能夠快速響應(yīng)。

近年來，日本Horiba、美國Brooks等業(yè)內(nèi)龍頭企業(yè)相繼推出壓電陶瓷式比例閥以及基于壓電比例閥的半導體級MFC產(chǎn)品，在提高響應(yīng)速度的同時大幅度降低長期使用中性能退化、發(fā)熱、漏氣等問題。國內(nèi)一些公司雖然取得了不錯的發(fā)展，但其產(chǎn)品仍采用傳統(tǒng)的電磁比例閥技術(shù)為主，產(chǎn)品力不足，無法滿足半導體行業(yè)高精度、高可靠性、快速響應(yīng)的需求。日前，高可靠、快響應(yīng)的高質(zhì)量壓電驅(qū)動式流量測控技術(shù)被國外所壟斷，價格高且隨時存在斷供風險，導致在國家重要半導體設(shè)備中存在關(guān)鍵核心部件安全威脅。

在六年中美貿(mào)易戰(zhàn)期間，我國半導體行業(yè)通過加大自主創(chuàng)新力度、推動產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展、積極參與國際合作以及獲得政策支持與資金投入等措施，實現(xiàn)了快速發(fā)展。同時，隨著半導體制造工藝的提升和市場需求的增長，對高端MFC的國產(chǎn)化需求也將不斷增加。因此，發(fā)展半導體級MFC，推動該核心部件的國產(chǎn)化，對于保障國家半導體產(chǎn)業(yè)鏈安全至關(guān)重要。

S700內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖

青島芯笙實力幾何？

青島芯笙專注于高端氣體流量測控技術(shù)，目標成為全球領(lǐng)先的半導體零部件供應(yīng)商。公司核心團隊來自于新加坡A*STAR、德國KIT、清華大學、中科院、同濟大學、山東大學等國內(nèi)外重點科研院校，掌握核心流量傳感芯片、模組、算法、系統(tǒng)集成等全鏈條自主核心技術(shù)。目前，公司擁有發(fā)明專利23項，實用新型專利14項，一級計量證書50余項；承擔科技部國家重點研發(fā)計劃2項，山東省重點研發(fā)計劃（重大科技創(chuàng)新工程）1項；建有“青島芯笙-山東大學傳感器測控聯(lián)合實驗室”、“青島市氣體流量測控技術(shù)重點實驗室”、“青島市氣體流量測控技術(shù)專家工作站”研發(fā)平臺，并擁有研發(fā)車間800平米，制造車間4000平米，流量校準設(shè)備100余臺；具有IS09001、IS014001等品質(zhì)管理和制造認證。

市場的穩(wěn)定性依賴于產(chǎn)品質(zhì)量的有力保障。經(jīng)過多年耕耘，青島芯笙已形成S300系列、UT系列、E系列等成熟穩(wěn)定的產(chǎn)品線，并在光伏、環(huán)保、醫(yī)療乃至軍工等諸多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了國產(chǎn)化替代，得到了市場的一致認可。如今，又增添了S700、DF500兩款半導體專用流量計產(chǎn)品，開始布局半導體市場。在談及公司及產(chǎn)品的優(yōu)勢時，公司創(chuàng)始人陶繼方博士表示，“作為一家本土的傳感器公司，青島芯笙的優(yōu)勢主要包括三點：首先，我們的團隊足夠優(yōu)秀，每個人都有出色的能力和豐富的經(jīng)驗；其次，我們具有良好的生態(tài)環(huán)境，產(chǎn)品的保質(zhì)保量交付離不開上游伙伴的強力支持，以及下游客戶保持著密切的合作；最后，青島芯笙公司一直保持高強度的研發(fā)和制造投入，研發(fā)投入使我們保持技術(shù)領(lǐng)先，制造投入保障我們產(chǎn)品的品質(zhì)。最求高端極致，不在低端市場內(nèi)卷，是我們破局的關(guān)鍵”，陶繼方博士補充道。

青島芯笙全新產(chǎn)品將亮相2024“半導體和核心部件展”

“這還遠遠不夠”，在談及公司的半導體級MFC新產(chǎn)品時，青島芯笙公司研發(fā)中心負責人林博士表示，“雖然公司已經(jīng)在光伏市場占有一席之地，獲得了穩(wěn)定的訂單，但我們的能力和目標不止于此，我們將對半導體設(shè)備核心零部件逐一攻關(guān)，這次的S700和DF500就是其中一項重大突破”。

青島芯笙新開發(fā)的兩款產(chǎn)品均采用國際領(lǐng)先的高速壓電比例閥技術(shù)，以及動態(tài)壓力波動補償技術(shù)，“壓電比例閥是MFC中的核心控制部件，與流量傳感器形成閉環(huán)，實現(xiàn)氣體流量的動態(tài)、快速調(diào)整”，林博士說道，“相較于目前國內(nèi)主流的電磁比例閥，壓電比例閥響應(yīng)快、控制精度高，且具有極低的功耗和熱噪聲。我們從2021年開始進行壓電比例閥的研發(fā)工作，目前已經(jīng)實現(xiàn)壓電陶瓷疊堆設(shè)計、執(zhí)行器結(jié)構(gòu)優(yōu)化、全金屬密封等關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)和量產(chǎn)方案，比例閥的性能和一致性都非常好”。

為滿足不同的應(yīng)用需求，本次青島芯笙開發(fā)了兩款不同的產(chǎn)品，區(qū)別如下：

兩款產(chǎn)品的側(cè)重點略有不同，其中，DF500在小流量控制方面精度、響應(yīng)時間上更有優(yōu)勢，適合7nm/14nm先進制程；而S700具有更寬的量程選擇和工作溫度，適合一般制程?！皟煽町a(chǎn)品均采用了公司最新研發(fā)的自適應(yīng)動態(tài)控制算法，客戶可以根據(jù)實際需要進行選擇。兩款MFC均采用半導體級雙V材料和EP處理，符合SEMI要求”，林博士表示，“這兩款產(chǎn)品都將在9月25日的半導體設(shè)備和核心部件展上進行展示，歡迎新老客戶們來交流。”

總結(jié)：

在半導體級MFC這個賽道上，我國研究起步較晚，技術(shù)和產(chǎn)品受制于西方國家，嚴重威脅著我國半導體產(chǎn)業(yè)的鏈條完整性和安全性。目前，青島芯笙已經(jīng)完成了從0到1的難題，接下來是如何更好地實現(xiàn)從1-100的躍升。國產(chǎn)廠商如青島芯笙的崛起，不僅代表了國內(nèi)技術(shù)水平的提升，也預(yù)示著我國將在全球高科技領(lǐng)域中具有更強的競爭力。

審核編輯 黃宇