“國(guó)內(nèi)顯示產(chǎn)業(yè)依托政策支持與技術(shù)迭代，不斷向高端領(lǐng)域升級(jí)，產(chǎn)能擴(kuò)張正催生更龐大的上游設(shè)備市場(chǎng)。國(guó)產(chǎn)廠商從非核心領(lǐng)域出發(fā)，逐步向上突破。以中導(dǎo)光電為代表的設(shè)備廠在諸如Array AOI等細(xì)分市場(chǎng)實(shí)現(xiàn)突圍，占據(jù)主要份額。在產(chǎn)業(yè)升級(jí)和國(guó)產(chǎn)替代的雙輪驅(qū)動(dòng)下，顯示裝備自主化生態(tài)已站穩(wěn)腳跟，并正在逐步向半導(dǎo)體檢測(cè)等高技術(shù)賽道延伸。”

國(guó)內(nèi)顯示市場(chǎng)表現(xiàn)積極，產(chǎn)能擴(kuò)張帶動(dòng)上游設(shè)備行業(yè)增長(zhǎng)

4月底，國(guó)內(nèi)面板巨頭京東方和TCL科技2025年第一季度財(cái)報(bào)雙雙出爐。根據(jù)財(cái)報(bào)信息，當(dāng)前面板市場(chǎng)供應(yīng)端基本實(shí)現(xiàn)按需調(diào)控產(chǎn)能，需求側(cè)受?chē)?guó)補(bǔ)政策刺激和結(jié)構(gòu)性增長(zhǎng)等因素，第一季度表現(xiàn)亮眼。京東方2025年一季度營(yíng)業(yè)收入達(dá)506億元，同比增長(zhǎng)10.3%，歸母凈利潤(rùn)達(dá)16.1億元，同比大幅增長(zhǎng)64.1%，同時(shí)，扣非凈利潤(rùn)達(dá)13.5億元，同比增長(zhǎng)126.6%。TCL科技則實(shí)現(xiàn)同期營(yíng)業(yè)收入401億元，歸母凈利潤(rùn)10.1億元，同比大增322%。

在積極的市場(chǎng)表現(xiàn)背后，是近年來(lái)中國(guó)大陸廠商在主流的TFT-LCD和AMOLED技術(shù)路線上持續(xù)加碼。根據(jù)CINNO Research數(shù)據(jù)，2024年中國(guó)大陸廠商的LCD產(chǎn)能已占全球近七成，中國(guó)大陸已經(jīng)成為全球最大LCD生產(chǎn)地，同時(shí)2024年中國(guó)大陸廠商的OLED產(chǎn)能也已占全球近三成。而隨著OLED高端產(chǎn)品市場(chǎng)需求持續(xù)上揚(yáng)以及不間斷的技術(shù)迭代驅(qū)動(dòng)，各大面板廠還在積極持續(xù)擴(kuò)充OLED產(chǎn)能。近兩年，中尺寸IT專用OLED產(chǎn)線正成為OLED產(chǎn)業(yè)投資新周期的主題，2024年3月，京東方國(guó)內(nèi)首條G8.6 AMOLED生產(chǎn)線在成都奠基開(kāi)工，同年9月，維信諾全球首條搭載無(wú)FMM技術(shù)（ViP）的G8.6 AMOLED產(chǎn)線在合肥開(kāi)工。此外，華星、和輝、天馬也在積極評(píng)估OLED的擴(kuò)產(chǎn)和新建項(xiàng)目。

作為一個(gè)重資產(chǎn)的先進(jìn)制造行業(yè)，面板產(chǎn)線投資中，設(shè)備占比通常很高，極端情況下甚至可以占到總項(xiàng)目投資的80%左右。以京東方成都G8.6 AMOLED產(chǎn)線項(xiàng)目為例，項(xiàng)目總投資額高達(dá)630億元人民幣，其中設(shè)備投資就超過(guò)了500億元人民幣。而維信諾合肥G8.6項(xiàng)目總投資額在550億元，其中設(shè)備投資額也高達(dá)約440億元。持續(xù)的巨額產(chǎn)線投資和設(shè)備需求，為我國(guó)上游設(shè)備行業(yè)發(fā)展提供了充足的市場(chǎng)需求，奠定了長(zhǎng)期增長(zhǎng)的良好基礎(chǔ)。

國(guó)內(nèi)顯示制程設(shè)備起步較晚，從非關(guān)鍵制程領(lǐng)域逐步突破

面板制造工藝可以大致分為Array（陣列） 、Cell（成盒） 、Module（模組） 三個(gè)環(huán)節(jié)，其中Module段TFT-LCD與OLED的工藝設(shè)備需求大致相同，主要包括邦定、貼合、點(diǎn)膠和檢測(cè)以及其他設(shè)備。Module段制程設(shè)備的精密度要求相對(duì)較低，技術(shù)門(mén)檻也較低，是國(guó)內(nèi)設(shè)備企業(yè)最早進(jìn)入的領(lǐng)域，率先實(shí)現(xiàn)了較高的國(guó)產(chǎn)化率，近年來(lái)Module段制程設(shè)備幾乎可實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)全替代，國(guó)產(chǎn)化率超85%。

而在中段Cell成盒工藝中，TFT-LCD與OLED的制程差異較大，TFT-LCD的Cell制程設(shè)備包括PI涂覆設(shè)備、定向摩擦設(shè)備、液晶滴下設(shè)備、基板對(duì)位壓合設(shè)備等一系列液晶制程相關(guān)設(shè)備，而OLED由于采用有機(jī)材料制作自發(fā)光RGB子像素，在工藝流程上引入了蒸鍍?cè)O(shè)備、噴墨打印設(shè)備以及薄膜封裝設(shè)備等。其中最為核心的蒸鍍?cè)O(shè)備長(zhǎng)期由Canon Tokki（日）壟斷。由于國(guó)內(nèi)相關(guān)上游產(chǎn)業(yè)鏈起步較晚，且面板行業(yè)后續(xù)建廠以O(shè)LED為主，相對(duì)TFT-LCD Cell段設(shè)備難度更高，而設(shè)備的開(kāi)發(fā)往往需要投入大量資金且研發(fā)周期較長(zhǎng)，導(dǎo)致該領(lǐng)域設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率較低。

前段Array陣列工藝是顯示面板制造的核心環(huán)節(jié)，直接決定像素驅(qū)動(dòng)的精度、顯示分辨率及面板性能的穩(wěn)定性。Array段作為T(mén)FT陣列的構(gòu)建基礎(chǔ)，需通過(guò)多道精密光刻、薄膜沉積及蝕刻工藝，在玻璃基板上形成復(fù)雜的微米級(jí)電路結(jié)構(gòu)。Array陣列的工藝復(fù)雜度和設(shè)備投資成本都是三段制程中最高的，也是顯示面板良率與量產(chǎn)能力的關(guān)鍵瓶頸。而在前段Array陣列工藝上，TFT-LED和OLED工藝和設(shè)備大致相同，由于OLED采用LTPS（低溫多晶硅） TFT背板，相較于傳統(tǒng)a-Si（非晶硅）、Oxide（氧化物） TFT-LCD的Array制程，除了曝光設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備、量檢測(cè)設(shè)備外，還增加了激光結(jié)晶設(shè)備和離子摻雜設(shè)備。

圖示：顯示面板各制程設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率及投資占比來(lái)源：CINNO Research整理

另外，Array段基本工藝流程與半導(dǎo)體晶圓工藝流程大體相似，核心設(shè)備的制造商也高度重合，市場(chǎng)份額集中于美日韓企業(yè)，整體國(guó)產(chǎn)化率長(zhǎng)期低于20%。特別在關(guān)鍵的曝光設(shè)備、氣相沉積設(shè)備、干刻設(shè)備、蒸鍍?cè)O(shè)備等核心工藝制程設(shè)備中，國(guó)產(chǎn)化率幾乎為零。曝光設(shè)備集中在佳能（日）、尼康（日）等設(shè)備商，氣相沉積設(shè)備集中在AMAT（美）、TEL（日）等設(shè)備商，干刻蝕設(shè)備集中在AMAT（美）、TEL（日）等設(shè)備商。

不過(guò)，在Array段其他制程設(shè)備上，例如濕刻相關(guān)制程領(lǐng)域，國(guó)產(chǎn)替代率已經(jīng)從2020年不到10%的水平提升至2024年約40%左右，取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步。而在Array檢測(cè)設(shè)備，國(guó)產(chǎn)化率已從2020年的近10%提升至2024年近50%。國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠正從非關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域逐步突破。而在顯示市場(chǎng)之外，半導(dǎo)體市場(chǎng)技術(shù)上的相似性也為這些前段設(shè)備企業(yè)提供了更廣闊的市場(chǎng)和技術(shù)升級(jí)空間。

圖示：新型顯示面板濕制程設(shè)備及Array檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率來(lái)源：CINNO Research整理

Array AOI檢測(cè)設(shè)備等細(xì)分領(lǐng)域，已形成國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商優(yōu)勢(shì)市場(chǎng)

Array檢測(cè)設(shè)備是專門(mén)用于顯示面板制造中Array段關(guān)鍵層質(zhì)量的設(shè)備，涵蓋了從薄膜沉積到圖案化等工序的各種檢測(cè)需求，包括光學(xué)檢測(cè)、電性能檢測(cè)、厚度測(cè)量、反射率及透過(guò)率測(cè)試、缺陷分析等。通過(guò)在工藝制程中進(jìn)行各種功能檢測(cè)，從而保證各段生產(chǎn)制程的可靠性和穩(wěn)定，達(dá)到分辨各環(huán)節(jié)產(chǎn)品良品與否，提升產(chǎn)線整體良率的目的?？梢哉J(rèn)為，Array檢測(cè)設(shè)備是面板生產(chǎn)中保證良率的不可缺少的重要設(shè)備。

AOI檢測(cè)全稱自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)，是一種基于光學(xué)原理利用機(jī)器視覺(jué)替代人工目檢的檢測(cè)技術(shù)，主要用于檢測(cè)玻璃基板上的短路，斷路以及微小缺陷，該設(shè)備的技術(shù)難點(diǎn)在于如何清晰抓取圖像，并快速與數(shù)據(jù)庫(kù)缺陷進(jìn)行對(duì)比并準(zhǔn)確指出缺陷類型大小。

該細(xì)分設(shè)備領(lǐng)域與其他檢測(cè)設(shè)備情況類似，過(guò)去長(zhǎng)期由國(guó)外企業(yè)主導(dǎo)。根據(jù)CINNO Research統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2020年中國(guó)大陸Array AOI的設(shè)備市場(chǎng)主要由Orbotech（以色列）、HBT（韓）等外資品牌主導(dǎo)，其中Orbotech憑借深厚的技術(shù)和客戶積累，占據(jù)超40%的市場(chǎng)，中國(guó)本土設(shè)備商的市場(chǎng)份額不到8%。自2018年開(kāi)始，中美貿(mào)易戰(zhàn)拉開(kāi)序幕，美國(guó)對(duì)中國(guó)高科技產(chǎn)業(yè)展開(kāi)全方位打壓，意圖遏制中國(guó)在科技領(lǐng)域的崛起勢(shì)頭，至此供應(yīng)鏈安全日益受到重視，產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同發(fā)展更加緊密，面板廠也開(kāi)始大力支持設(shè)備國(guó)產(chǎn)化替代。AOI成為這一大背景下，國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商突圍的一個(gè)縮影。

國(guó)內(nèi)設(shè)備商中導(dǎo)光電成立于2006年，是一家有海歸資深專家團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立的國(guó)內(nèi)平板顯示和半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備企業(yè)，迄今已在相關(guān)領(lǐng)域深耕近二十年，擁有深厚的產(chǎn)業(yè)積淀。中導(dǎo)光電公司的平板顯示檢測(cè)設(shè)備形成了完整的產(chǎn)品家族，檢測(cè)靈敏度達(dá)到亞微米級(jí)，是國(guó)內(nèi)平板顯示前段制程高端檢測(cè)裝備“中國(guó)解決方案”的主力軍。

在全行業(yè)大力推進(jìn)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的風(fēng)口上，中導(dǎo)光電敏銳抓住機(jī)遇，與面板廠協(xié)同驗(yàn)證，通過(guò)1~2年的驗(yàn)證改善，不斷提升設(shè)備性能，在設(shè)備的分辨率、檢測(cè)精度及檢測(cè)速度上已達(dá)到國(guó)外設(shè)備商同等技術(shù)水準(zhǔn)，同時(shí)多年的技術(shù)鉆研及積累了巨量且多樣的Defect數(shù)據(jù)庫(kù)，靈活且穩(wěn)定的軟件算法模式，可快速應(yīng)用實(shí)際產(chǎn)線的檢測(cè)需求，提升平板顯示制造廠商的產(chǎn)品良率和產(chǎn)出經(jīng)濟(jì)效益。

在2022年中導(dǎo)光電厚積薄發(fā)，業(yè)績(jī)實(shí)現(xiàn)爆發(fā)性增長(zhǎng)，企業(yè)多次獲得京東方、TCL華星、天馬微電子、信利等國(guó)內(nèi)多家主要平板顯示制造企業(yè)的復(fù)購(gòu)訂單。2024年中導(dǎo)光電在中國(guó)大陸面板行業(yè)Array AOI的市場(chǎng)份額超過(guò)了70%，穩(wěn)居行業(yè)排名第一。Orbotech的市場(chǎng)份額急劇萎縮至6%左右，這也直接導(dǎo)致了Orbotech在2024年評(píng)估后宣布在2024年年底退出面板市場(chǎng)。

而在平板顯示行業(yè)獲得如此成績(jī)后，下一步公司計(jì)劃進(jìn)一步向半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)領(lǐng)域進(jìn)軍。目前中導(dǎo)光電半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)靈敏度最高達(dá)到30nm，成功獲得重要客戶的復(fù)購(gòu)訂單，公司正在加快步伐，積極布局，進(jìn)一步鞏固和擴(kuò)大在半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域的市場(chǎng)地位。

圖示：2020~2024年中國(guó)大陸面板行業(yè)Array AOI設(shè)備商市場(chǎng)份額來(lái)源：CINNO Research整理

中導(dǎo)光電的發(fā)展歷程是我國(guó)自主設(shè)備領(lǐng)域發(fā)展的一個(gè)縮影。根據(jù)CINNO Research統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2024年全球TFT-LCD和AMOLED面板產(chǎn)值合計(jì)達(dá)到1,200億美元，其中中國(guó)大陸面板企業(yè)產(chǎn)值約為575億美元，占全球比重達(dá)48%，并且這一比例還有逐年升高趨勢(shì)，是名副其實(shí)的全球面板顯示制造中心。有如此巨大的下游資源帶動(dòng)，目前我國(guó)光電顯示產(chǎn)業(yè)鏈部分核心材料與設(shè)備已能夠逐步實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，部分高精尖領(lǐng)域仍依賴進(jìn)口。而與材料行業(yè)相比，設(shè)備行業(yè)更加需要長(zhǎng)期持續(xù)的投入。與國(guó)際設(shè)備巨頭相比，國(guó)內(nèi)設(shè)備公司起步較晚，依托下游支持與不懈努力，在一些細(xì)分領(lǐng)域能夠快速取得不俗的成績(jī)，甚至做到領(lǐng)先地位，不過(guò)與國(guó)際一線供應(yīng)商數(shù)十年長(zhǎng)線經(jīng)營(yíng)的結(jié)果相比，規(guī)模上仍存在巨大差距，根基尚淺。下一步聚焦半導(dǎo)體行業(yè)正成為許多相關(guān)企業(yè)的共識(shí)。

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