經(jīng)世智能半導(dǎo)體行業(yè)晶圓盒轉(zhuǎn)運(yùn)復(fù)合機(jī)器人，復(fù)合機(jī)器人在半導(dǎo)體行業(yè)主要應(yīng)用于晶圓盒轉(zhuǎn)運(yùn)、機(jī)臺(tái)上下料等環(huán)節(jié)，通過(guò)“AGV移動(dòng)底盤(pán)+協(xié)作機(jī)械臂+視覺(jué)系統(tǒng)"一體化控制方案實(shí)現(xiàn)高效自動(dòng)化作業(yè)。
機(jī)器人機(jī)械臂末端定制了末端夾具，車(chē)身定制了物料緩存架。

應(yīng)用場(chǎng)景

1、晶圓盒轉(zhuǎn)運(yùn)：復(fù)合機(jī)器人在潔凈車(chē)間自主移動(dòng)，精準(zhǔn)對(duì)接EFEM、Stocker等設(shè)備，跨區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)晶圓盒，避免人工污染
2、機(jī)臺(tái)上下料：機(jī)械臂精準(zhǔn)定位完成晶圓盒與工藝機(jī)臺(tái)（如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)）的自動(dòng)上下料，支持多品牌設(shè)備協(xié)議兼容

核心價(jià)值

1、24H作業(yè)，轉(zhuǎn)運(yùn)效率提升50%，機(jī)臺(tái)稼動(dòng)率提升20%
2、IOT實(shí)現(xiàn)物料追溯與設(shè)備監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)數(shù)字化生產(chǎn)
3、潔凈環(huán)境與精密操作減少微粒污染及物理?yè)p傷
4、動(dòng)態(tài)路徑規(guī)劃與模塊化設(shè)計(jì)，適配產(chǎn)線(xiàn)及晶圓尺寸變更

場(chǎng)景案例