制造芯片的復(fù)雜程度超過(guò)制造火箭。閱讀本案例研究,了解美光如何率先在制造、物流和業(yè)務(wù)流程中應(yīng)用 AI,并將其大規(guī)模部署,從而實(shí)現(xiàn)技術(shù)優(yōu)勢(shì)地位。
美光在利用人工智能 (AI)技術(shù)方面絕不僅限于空談。公司將數(shù)據(jù)分析和 AI 應(yīng)用于自身制造流程,真正做到了言行一致。美光將 AI 融入業(yè)務(wù)運(yùn)營(yíng)的核心,通過(guò)業(yè)界前沿內(nèi)存和存儲(chǔ)解決方案,彰顯其賦能技術(shù)的卓越價(jià)值。
智能制造是自動(dòng)化的更高階段。其關(guān)鍵在于大規(guī)模智能感知、決策與優(yōu)化。智能制造涵蓋內(nèi)容廣泛,從仿真和預(yù)測(cè)分析,到機(jī)器學(xué)習(xí)和生成式 AI 等。這是一項(xiàng)更廣泛的企業(yè)戰(zhàn)略,其中感知 AI 和智能體 AI 發(fā)揮著關(guān)鍵作用:感知 AI 通過(guò)計(jì)算機(jī)視覺(jué)、聲學(xué)監(jiān)聽(tīng)和熱成像等技術(shù),使機(jī)器能夠“看到、聽(tīng)到、感覺(jué)到”周圍的環(huán)境。智能體 AI 系統(tǒng)能夠解讀這些輸入信息并自主行動(dòng),持續(xù)學(xué)習(xí)、在復(fù)雜的工作流程中進(jìn)行協(xié)調(diào)。
這些能力相結(jié)合,為美光的制造戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型提供了支撐,使智能系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)檢測(cè)異常、優(yōu)化流程并靈活適應(yīng)新變化。智能制造帶來(lái)了諸多優(yōu)勢(shì):更高的良率、更安全的工作環(huán)境、大幅提升的效率、更短的產(chǎn)品上市時(shí)間,以及更可持續(xù)的業(yè)務(wù)。本案例研究探討美光如何利用 AI 技術(shù)來(lái)應(yīng)對(duì)全球最復(fù)雜的工程挑戰(zhàn)之一:在硅晶圓上制造內(nèi)存。
復(fù)雜的制造工藝
美光的制造工廠在基于硅晶圓開(kāi)發(fā)內(nèi)存技術(shù)時(shí)需要使用高度復(fù)雜和精密的工藝,耗時(shí)數(shù)月,涉及約 1,500 個(gè)步驟。出錯(cuò)和浪費(fèi)的可能性很高。利用數(shù)據(jù)分析和 AI,有助于降低這種可能性。如果僅依靠人類警覺(jué)性來(lái)發(fā)現(xiàn)和跟蹤缺陷、機(jī)械問(wèn)題和其他潛在問(wèn)題領(lǐng)域,公司將會(huì)損失時(shí)間和金錢。而通過(guò)利用當(dāng)今的前沿 AI 技術(shù)來(lái)提高準(zhǔn)確性和檢出率,就可以避免這些損失。
美光智能制造和人工智能企業(yè)副總裁 Koen de Backer 表示:“我們?cè)谶@里打造的東西完全與眾不同,能夠?qū)崿F(xiàn)更高水平的準(zhǔn)確性?,F(xiàn)在,我們可以將產(chǎn)品上市速度加快一倍,同時(shí)每年節(jié)省 100 萬(wàn)工時(shí)。這確實(shí)是革命性的成就?!?/p>
美光如何將晶圓轉(zhuǎn)化為先進(jìn)內(nèi)存
制造先進(jìn)內(nèi)存的起點(diǎn)是二氧化硅——一種經(jīng)提純后純度高達(dá) 99.999% 的沙子。這種電子級(jí)硅原料先被熔鑄成硅錠,再切成厚度僅為 0.67 [BG1] 毫米 [E]2] 的超薄晶圓。美光從專業(yè)供應(yīng)商處采購(gòu)電子級(jí)晶圓,然后通過(guò)先進(jìn)的制造系統(tǒng)進(jìn)行加工,最終生產(chǎn)出高性能內(nèi)存芯片。
通過(guò)擴(kuò)散工藝,晶圓上的涂層能夠均勻分布。添加涂層材料時(shí),每個(gè)晶圓都在高速旋轉(zhuǎn)(有時(shí)在超熱環(huán)境中),材料在離心力的作用下沿著表面擴(kuò)散。
在美光的尖端制造工廠中,這些采購(gòu)而來(lái)的晶圓將經(jīng)歷一系列精密設(shè)計(jì)的加工步驟——每個(gè)環(huán)節(jié)都旨在將電子級(jí)硅原料轉(zhuǎn)化為智能內(nèi)存,加工精度可達(dá)微米級(jí)別。
拋光:去除從硅錠切割下來(lái)的初始晶圓表面的微小瑕疵,確保形成后續(xù)加工所需的光潔表面。
光刻膠涂覆:涂覆光敏材料,以便能夠通過(guò)光刻技術(shù)刻印精密電路圖案。
光刻:利用紫外線將設(shè)計(jì)好的精密電路逐層轉(zhuǎn)印到晶圓上,類似于相片曝光的過(guò)程。
摻雜與金屬化:加入離子化等離子體(摻雜)來(lái)改變晶圓的電學(xué)特性,并添加導(dǎo)電金屬層以形成互連結(jié)構(gòu)。
添加防護(hù)層:用薄膜密封晶圓,以便在測(cè)試和搬運(yùn)過(guò)程中保護(hù)其中的電路。
檢驗(yàn)與檢測(cè):通過(guò) AI 增強(qiáng)成像和分類系統(tǒng)驗(yàn)證功能性和結(jié)構(gòu)完整性,并檢測(cè)人眼無(wú)法察覺(jué)的缺陷。
整個(gè)制造過(guò)程在無(wú)菌制造室(稱為潔凈室)中進(jìn)行,以防止微小的灰塵污染原始晶圓。然而,盡管采取了這些預(yù)防措施,晶圓仍然可能存在瑕疵。微小的劃痕、保護(hù)膜下的氣泡、細(xì)微的結(jié)構(gòu)缺陷等——若未及時(shí)檢出,這些小缺陷可能導(dǎo)致整批產(chǎn)品報(bào)廢。
這些瑕疵通常很微小,肉眼完全看不見(jiàn)。即使可見(jiàn),檢測(cè)人員在掃視每片晶圓的 30 到 40 張照片時(shí),也可能會(huì)因?yàn)檠劬ζ诨驎簳r(shí)走神而未注意到缺陷。眨眼之間,瑕疵品便流向了下一個(gè)環(huán)節(jié)。
如果到測(cè)試階段才發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,就會(huì)浪費(fèi)大量時(shí)間和金錢。這些瑕疵的根源問(wèn)題不僅僅只影響一片晶圓,而可能影響成千上萬(wàn)片晶圓。
在生產(chǎn)中還有其他方面也可能會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題。設(shè)備零部件磨損;管道危險(xiǎn)化學(xué)品泄漏或滴落到產(chǎn)品或員工身上。我們必須及早發(fā)現(xiàn)這些問(wèn)題并予以糾正。一旦停工,往往就要付出很高的代價(jià),導(dǎo)致收入損失并錯(cuò)失生產(chǎn)良機(jī)。由于半導(dǎo)體制造的復(fù)雜性,恢復(fù)生產(chǎn)需要耗費(fèi)大量的時(shí)間,這可能會(huì)使真實(shí)成本達(dá)到數(shù)百萬(wàn)美元。并且,還存在很多與員工受傷相關(guān)的風(fēng)險(xiǎn)。最后,為踐行美光對(duì)可持續(xù)發(fā)展和卓越運(yùn)營(yíng)的承諾,我們應(yīng)當(dāng)盡力實(shí)現(xiàn)每個(gè)流程的高效節(jié)能、穩(wěn)定可靠。
及時(shí)檢測(cè)出產(chǎn)品和機(jī)械問(wèn)題,對(duì)于生產(chǎn)效率、效能和安全至關(guān)重要。遺憾的是,人難免會(huì)犯錯(cuò)。即使是最專業(yè)的員工也未必總能察覺(jué)出細(xì)微的問(wèn)題跡象。
這正是 AI 大顯身手的領(lǐng)域。AI 系統(tǒng)能以激光般的精度和速度檢測(cè)出人類不易覺(jué)察的異常,比如劃痕、氣泡、設(shè)備磨損等,其能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)人類。AI 系統(tǒng)會(huì)從超過(guò) 590,000 個(gè)源收集 PB 級(jí)的制造數(shù)據(jù) [JB1]——這些數(shù)據(jù)持續(xù)流入美光的云分析環(huán)境,以供優(yōu)化生產(chǎn)流程以及實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題。這些系統(tǒng)包括計(jì)算機(jī)視覺(jué)、聲學(xué)監(jiān)聽(tīng)和熱成像,當(dāng)機(jī)器具備了這些感知 AI 能力,便能夠感知周圍環(huán)境。
計(jì)算機(jī)視覺(jué)讓制造過(guò)程“被看見(jiàn)”
美光的 AI 制造基于圖像分析技術(shù)。Koen 解釋道:“圖像在半導(dǎo)體制造工藝中具有強(qiáng)大的作用,我們可以分析每個(gè)工藝步驟的詳細(xì)圖像。”
他還表示:“通過(guò)利用 AI 計(jì)算機(jī)視覺(jué)并分析每個(gè)階段的圖像,我們可以快速識(shí)別發(fā)生的任何偏差。所有過(guò)程都完全采用自動(dòng)化方式。這種分析涵蓋各個(gè)方面,包括前道、封裝與測(cè)試?!?/p>
在整個(gè)晶圓廠和制造工藝中,美光通過(guò) AI 計(jì)算機(jī)視覺(jué)尋找微觀層面的潛在瑕疵。
除了圖像,美光還采用視頻分析來(lái)消除封裝和測(cè)試中的質(zhì)量問(wèn)題。您也許會(huì)認(rèn)為視頻的數(shù)據(jù)量太大,因而不太可行。但是,美光同樣使用了 AI,來(lái)確定需要分析的關(guān)鍵時(shí)間點(diǎn)。AI 會(huì)適時(shí)啟動(dòng)和停止視頻流,僅捕獲關(guān)鍵過(guò)程,從而控制數(shù)據(jù)量的大小。美光的一大優(yōu)勢(shì)是,同時(shí)生產(chǎn)內(nèi)存和存儲(chǔ)設(shè)備,確保這些寶貴數(shù)據(jù)能夠被采集、保存并隨時(shí)可用。
圖像和視頻非常有用,因?yàn)榫A瑕疵有很多種形式。大多數(shù)瑕疵屬于以下這些常見(jiàn)類型:晶圓邊緣附近有小孔,或外層薄膜上有劃痕和氣泡。在晶圓制造過(guò)程中,光刻機(jī)在晶圓上蝕刻電路時(shí),其攝像頭會(huì)捕獲一些圖像,美光的 AI 系統(tǒng)使用計(jì)算機(jī)視覺(jué)技術(shù)在這些圖像上識(shí)別上述缺陷。
根據(jù)工程師的指示,系統(tǒng)會(huì)自主掃描晶圓邊緣的小點(diǎn)(孔),或者連續(xù)或輕微斷開(kāi)的線條(劃痕),也可以根據(jù)深淺不同的斑點(diǎn)來(lái)發(fā)現(xiàn)顏色變化。某些缺陷能以近乎實(shí)時(shí)的速度檢出,在拍攝圖像后數(shù)秒內(nèi)觸發(fā)警報(bào)。在照片存儲(chǔ)幾分鐘后的二次掃描中可能會(huì)發(fā)現(xiàn)其他缺陷。所有這些過(guò)程都依賴于 AI 系統(tǒng)對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)環(huán)境中存儲(chǔ)的數(shù)百萬(wàn)張圖像進(jìn)行比較和對(duì)照。
事實(shí)證明,這些結(jié)果比工程師的評(píng)估要準(zhǔn)確得多,因?yàn)?AI 計(jì)算機(jī)視覺(jué)具有更高的準(zhǔn)確性和效率。最重要的是,工程師們現(xiàn)在可以專注于數(shù)據(jù)采集以及根本原因的解決。
美光的 AI 自動(dòng)缺陷分類 (ADC) 系統(tǒng)進(jìn)一步簡(jiǎn)化了這項(xiàng)工作。技術(shù)人員和工程師不再需要手動(dòng)對(duì)晶圓缺陷進(jìn)行分類。借助深度學(xué)習(xí)技術(shù),AI-ADC 每年可對(duì)數(shù)百萬(wàn)個(gè)缺陷進(jìn)行分類和歸類,并能夠自主學(xué)習(xí),在迭代中不斷提升準(zhǔn)確率。這種機(jī)器學(xué)習(xí)方式按類型對(duì)缺陷進(jìn)行聚類處理,可幫助工程師追溯缺陷產(chǎn)生的根本原因,并使 AI 系統(tǒng)能夠自主發(fā)現(xiàn)缺陷及優(yōu)化結(jié)果。
監(jiān)聽(tīng)聲音
美光除了將 AI 成像作為制造工藝的核心外,還利用聲學(xué)監(jiān)聽(tīng)來(lái)預(yù)防問(wèn)題。異常聲音往往表示部件存在磨損或即將發(fā)生故障。
美光的 AI 系統(tǒng)可以通過(guò)聲學(xué)傳感器監(jiān)聽(tīng)工廠機(jī)械的異常情況。這些傳感器通常有計(jì)劃地安裝在機(jī)器人執(zhí)行裝置或泵設(shè)備附近。這些麥克風(fēng)可以連續(xù)數(shù)周對(duì)正常工作狀況錄音,軟件將檢測(cè)到的頻率轉(zhuǎn)換為圖形或圖表,以視覺(jué)數(shù)據(jù)來(lái)描述聲音。當(dāng)出現(xiàn)新的音高或頻率時(shí),系統(tǒng)會(huì)發(fā)出警報(bào)。很多情況下,系統(tǒng)甚至可以辨別出發(fā)生異常的原因。
搜索這些龐大的數(shù)據(jù)庫(kù)可能非常耗時(shí)。但當(dāng)機(jī)器有可能發(fā)生故障時(shí),工廠經(jīng)理又需要立即知曉情況。相比基于 CPU 的系統(tǒng),將數(shù)據(jù)發(fā)送到由 GPU、加速器以及美光的內(nèi)存和存儲(chǔ)設(shè)備組成的 AI 系統(tǒng)可以更快獲得智能結(jié)果。這些 AI 系統(tǒng)具有數(shù)十萬(wàn)個(gè) GPU 核心和高帶寬內(nèi)存,可以同時(shí)協(xié)同工作,瞬間優(yōu)化結(jié)果,幾乎無(wú)需人工干預(yù)。此外,它們還可以在每次迭代中改進(jìn)診斷機(jī)制。
熱成像感知
并不是每種故障都會(huì)發(fā)出聲響。在制造環(huán)境中,寂靜無(wú)聲也可能隱藏著致命危險(xiǎn)。有時(shí)候,唯一的預(yù)警信號(hào)是溫度的變化。直到最近,檢測(cè)溫度驟升的方法仍然只有觀察紅光、火花或煙霧。當(dāng)這些狀況出現(xiàn)時(shí),意味著事態(tài)已進(jìn)入危險(xiǎn)階段,工廠需要盡快疏散員工。
因此,除了圖像分析和聲學(xué)監(jiān)聽(tīng)外,美光還使用熱成像技術(shù)測(cè)量關(guān)鍵器件的溫度。
Koen 解釋道:“測(cè)量變壓器的溫度是防止過(guò)熱的關(guān)鍵。及早發(fā)現(xiàn)問(wèn)題也許只需要進(jìn)行簡(jiǎn)單的修理,而如果錯(cuò)過(guò)了時(shí)機(jī),可能就只能更換整套昂貴的設(shè)備?!?/p>
最終,這些用于采集圖像、聲音和溫度的 AI 傳感器將直接影響公司的利潤(rùn)。Koen 補(bǔ)充道:“這些傳感器在提高質(zhì)量和效率方面表現(xiàn)出色,在成本節(jié)約方面同樣作用巨大。它們能夠?qū)崿F(xiàn)細(xì)粒度的能源計(jì)量,從而顯著節(jié)約原材料和能源?!?/p>
數(shù)據(jù)
美光通過(guò) 590,000 個(gè)傳感器生成 1 億張晶圓圖像,涉及到 4.36 億個(gè)控制點(diǎn)。所有這些數(shù)據(jù)每周都會(huì)通過(guò) AI 模型進(jìn)行處理。此外,已存儲(chǔ) 77 PB 數(shù)據(jù),并且每天捕獲 58 TB 的新數(shù)據(jù)。
AI 的大規(guī)模采用可支持多種應(yīng)用,包括良率分析、數(shù)字孿生規(guī)劃、物聯(lián)網(wǎng) (IoT) 和圖像分析、優(yōu)化和高級(jí)算法、過(guò)程自動(dòng)化以及移動(dòng)應(yīng)用。
結(jié)果1毋庸置疑:
制造工具可用性提高 4%
每年勞動(dòng)生產(chǎn)率增加 100 萬(wàn)工時(shí)
新品上市時(shí)間縮短 50%
產(chǎn)品報(bào)廢率降低 50%
其效益不僅限于晶圓廠。從銷售和市場(chǎng)營(yíng)銷,到人力資源、業(yè)務(wù)運(yùn)營(yíng)、研發(fā)及業(yè)務(wù)系統(tǒng)——AI 現(xiàn)已融入美光運(yùn)營(yíng)的方方面面。
Koen 表示:“這是整個(gè)企業(yè)層面的轉(zhuǎn)型,而不僅僅是車間改造。我們已將 AI 應(yīng)用于公司內(nèi)部所有業(yè)務(wù)流程?!?/p>
生態(tài)系統(tǒng)合作伙伴關(guān)系
美光不僅在內(nèi)部?jī)?yōu)化制造工藝,在與供應(yīng)商直接合作時(shí)也使用 AI,向他們提供與產(chǎn)品相關(guān)的詳細(xì)反饋,以確保盡可能提高能效。美光同這些供應(yīng)商一起協(xié)調(diào) DIMS(數(shù)據(jù)攝入美光系統(tǒng)),盡可能提高數(shù)據(jù)攝取的頻率。美光工程師會(huì)實(shí)時(shí)監(jiān)控這些攝取狀態(tài),同時(shí)持續(xù)進(jìn)行精益求精的校正和優(yōu)化。
此外,美光還使用遙測(cè)數(shù)據(jù)來(lái)衡量旗下產(chǎn)品在供應(yīng)商數(shù)據(jù)中心內(nèi)的效果。這些數(shù)據(jù)與美光內(nèi)部數(shù)據(jù)相結(jié)合,可支持實(shí)時(shí)協(xié)作,以便改進(jìn)產(chǎn)品,使其滿足特定工作負(fù)載的需求。
美光也會(huì)密切監(jiān)控這些模型的表現(xiàn)。使用 AI 處理傳入的數(shù)據(jù)并進(jìn)行反復(fù)訓(xùn)練,工程師能夠?qū)W⒂谧詣?dòng)化機(jī)器學(xué)習(xí)的流程。如果不使用 AI,可能數(shù)據(jù)科學(xué)家永遠(yuǎn)無(wú)法騰出手來(lái)推動(dòng)技術(shù)發(fā)展,他們將忙于研究那些已經(jīng)發(fā)生的各種事件。
這些計(jì)劃得到了內(nèi)部數(shù)據(jù)科學(xué)學(xué)院的支持,同時(shí)公司也在內(nèi)部數(shù)據(jù)科學(xué)家、工程師和解決方案架構(gòu)師方面進(jìn)行了持續(xù)投資。通過(guò)這些資源以及美光的公民數(shù)據(jù)科學(xué)模型,職能專家能夠有效利用 AI 支持的工具和見(jiàn)解。
行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)力
如今,美光正在將豐富的核心工藝知識(shí)與 AI 出類拔萃的效率相結(jié)合。數(shù)據(jù)專家們創(chuàng)建了大型良率管理平臺(tái),公司內(nèi)有 14,000 名員工正在使用這些平臺(tái)。與此同時(shí),以前專注于日常良率優(yōu)化的專業(yè)團(tuán)隊(duì)正在快速集成周期中構(gòu)建新的原型。團(tuán)隊(duì)成員經(jīng)常會(huì)應(yīng)用這些原型來(lái)優(yōu)化主要平臺(tái)。
得益于美光團(tuán)隊(duì)成員的敬業(yè)精神及其開(kāi)發(fā)的 AI 增強(qiáng)型先進(jìn)制造工藝,公司在多代內(nèi)存技術(shù)的采用過(guò)程中均實(shí)現(xiàn)了創(chuàng)紀(jì)錄的良率。憑借最新創(chuàng)新成果,美光的近幾代技術(shù)能夠比前幾代更快達(dá)到成熟良率,彰顯出公司的工程研發(fā)與卓越運(yùn)營(yíng)能力,并進(jìn)一步鞏固了美光的技術(shù)優(yōu)勢(shì)地位。
美光針對(duì)產(chǎn)品制造不斷優(yōu)化 AI。AI 已不僅是一種工具,更是一種智能系統(tǒng),徹底改變了生產(chǎn)流程。而真正讓美光在 AI 應(yīng)用領(lǐng)域脫穎而出的,則是通過(guò)大規(guī)模應(yīng)用 AI 來(lái)重塑整個(gè)企業(yè)。從仿真與預(yù)測(cè)分析,到機(jī)器學(xué)習(xí)、生成式 AI 以及實(shí)時(shí)工藝優(yōu)化,美光的 AI 戰(zhàn)略已滲透至業(yè)務(wù)的每個(gè)角落。新技術(shù)不僅不會(huì)取代團(tuán)隊(duì)成員的工作,反而會(huì)為團(tuán)隊(duì)助力和賦能,讓他們無(wú)需再忙于獲取數(shù)據(jù)并進(jìn)行大量基礎(chǔ)分析。現(xiàn)在,他們可以專注于自己擅長(zhǎng)的事情——通過(guò)創(chuàng)新來(lái)開(kāi)發(fā)行業(yè)前沿產(chǎn)品及良好業(yè)務(wù)實(shí)踐。
1改進(jìn)結(jié)果基于美光 2016-2025 年收集的內(nèi)部數(shù)據(jù)和分析
本文作者
Dan Combe
全球傳播與營(yíng)銷部門營(yíng)銷活動(dòng)經(jīng)理
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原文標(biāo)題:美光的智能制造:AI技術(shù)在企業(yè)中的應(yīng)用
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