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      超大規(guī)模集成電路銅互連電鍍工藝

      2009-12-14 | rar | 555 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      超大規(guī)模集成電路銅互連電鍍工藝
      曾磊 1，張衛(wèi)2，汪禮康2
      1.羅門哈斯電子材料（上海）有限公司
      2.復(fù)旦大學(xué)微電子研究院，復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心
      摘要：介紹了集成電路銅互連雙嵌入式工藝和電鍍銅的原理；有機(jī)添加劑在電鍍銅中的
      重要作用及對(duì)添加劑含量的監(jiān)測(cè)技術(shù)；脈沖電鍍和化學(xué)電鍍?cè)阢~互連技術(shù)中的應(yīng)用；以及銅互連電鍍工藝的發(fā)展動(dòng)態(tài)。
      關(guān)鍵詞：集成電路，銅互連，電鍍，阻擋層
      電鍍
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