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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>模擬數(shù)字論文>單晶硅各向異性腐蝕的微觀動態(tài)模擬

      單晶硅各向異性腐蝕的微觀動態(tài)模擬

      2009-07-02 | rar | 368 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      根據(jù)單晶硅各向異性腐蝕的特點(diǎn)，以晶格內(nèi)部原子鍵密度為主要因素，溫度、腐蝕液濃
      度等環(huán)境因素為校正因子，建立了一個新穎的硅各向異性腐蝕的計算機(jī)模擬模型。在+,--開發(fā)環(huán)境下利用./0123 技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了硅各向異性腐蝕過程的三維微觀動態(tài)模擬，為深刻理解硅的各向異性腐蝕過程提供了直觀的界面。
      硅各向異性腐蝕技術(shù)是MEMS加工的核心工藝之一。硅的各向異性腐蝕，是指硅的不同晶面具有不同的腐蝕速率1］?；谶@種腐蝕特性，可在硅襯底上加工出各種各樣復(fù)雜的三維微結(jié)構(gòu)。如果能精確的對各向異性腐蝕的結(jié)果進(jìn)行計算機(jī)模擬，那么對于MEMS計算機(jī)輔助設(shè)計系統(tǒng)的建立和MEMS工藝水平的提高，都有重要的意義2］。
      單晶硅
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