半導體清洗設備通過不斷將各種污染雜質(zhì)控制在工藝要求范圍內(nèi)，提高芯片的良率和性能，是芯片良率的重要保障。隨著芯片技術的不斷提升，清洗設備的要求也越來越高。根據(jù)結(jié)構(gòu)清洗設備可分為單片清洗設備、槽式清洗設備、批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設備、洗刷器等。

華林科納針對幾種清洗設備對比后的分析：

設備種類：單片清洗設備

清洗方法：旋轉(zhuǎn)噴淋，兆聲波清洗，二流體清洗，機械刷洗等

應用特點：具有極高的工藝環(huán)境控制能力與微粒去除能力，有效解決晶圓之間交叉污染的問題;每個清洗腔體內(nèi)每次只能清洗單片晶圓，設備產(chǎn)能較低。

設備種類：槽式清洗設備

清洗方法：溶液浸泡，兆聲波清洗等

應用特點：清洗產(chǎn)能高，適合大批量生產(chǎn);但顆粒，濕法刻蝕速度控制差;交叉污染風險大。

設備種類：批式旋轉(zhuǎn)噴 淋清洗設備

清洗方法：旋轉(zhuǎn)噴淋

應用特點：相對傳統(tǒng)槽式清洗設備，批式旋轉(zhuǎn)設備可實現(xiàn) 120oC 以上甚至達到200oC 高溫硫酸工藝要求;各項工藝參數(shù)控制困難，晶圓碎片后整個清洗腔室內(nèi)所有晶圓均有報廢風險。

設備種類：組合式清洗設備

清洗方法：溶液浸泡+旋轉(zhuǎn)噴 淋組合清洗

應用特點：產(chǎn)能較高，清洗精度較高，并可大幅降低濃硫酸使用量;產(chǎn)品造價較高。

設備種類：洗刷器

清洗方法：機械刷洗法

應用特點：配置專用刷洗器，利用刷頭與晶圓表面的摩擦力，配合去離子水以達到去除顆粒的清洗方法。

審核編輯：湯梓紅