一、光譜共焦技術(shù)的前世今生

光譜共焦技術(shù)，可以追溯到20世紀(jì)70年代。那時(shí)，科學(xué)家們開始意識到傳統(tǒng)成像技術(shù)在精度和分辨率上的局限。為了解決這些問題，他們提出了一種基于干涉原理的光譜共焦方法，這種方法能夠通過分析光線的波長分布來實(shí)現(xiàn)更為精確的測量。這一理念的提出，為光譜共焦技術(shù)的發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。

進(jìn)入80年代，光譜共焦技術(shù)開始逐步走向成熟。研究者們不斷改進(jìn)儀器設(shè)計(jì)，使得設(shè)備更加穩(wěn)定可靠。例如，引入了特殊的分光元件和高靈敏度的探測器，這些元件能夠準(zhǔn)確分辨不同波長的光信號，并將其轉(zhuǎn)化為可讀的數(shù)字信息。此外，計(jì)算機(jī)技術(shù)的引入，也為數(shù)據(jù)處理提供了強(qiáng)大的支持。通過對數(shù)據(jù)的快速處理和分析，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)、動(dòng)態(tài)的測量結(jié)果輸出。

90年代，隨著納米技術(shù)和微電子學(xué)的快速發(fā)展，對測量精度的要求進(jìn)一步提高。這促使光譜共焦技術(shù)繼續(xù)朝著更高的精度發(fā)展。研究者們開發(fā)了新的算法和模型，用于優(yōu)化測量過程并減少誤差。同時(shí)，為了應(yīng)對復(fù)雜多變的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，還增加了溫度控制、機(jī)械振動(dòng)抑制等功能，確保了測量結(jié)果的穩(wěn)定性和可靠性。

行業(yè)知識|光譜共焦傳感器如何實(shí)現(xiàn)超高精度測量

二、什么是光譜共焦位移傳感器

光譜共焦傳感器是一種通過光學(xué)色散原理建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系，利用光譜儀解碼光譜信息，從而獲得位置信息的裝置。

如下圖所示，白光LED光源發(fā)射出一束寬光譜的復(fù)色光，通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散，其中只存在某一特定波長的單色光聚焦在被測物體表面，并同時(shí)反射回光學(xué)系統(tǒng)。經(jīng)過光譜分析得到該單色光波長值，由波長-距離標(biāo)定即可換算出被測物體的距離值，還可進(jìn)一步通過計(jì)算位移數(shù)值獲得平面度數(shù)據(jù)和厚度數(shù)據(jù)等。

由于采用了共焦技術(shù)，該方法具有良好的層析特性，分辨力提高，并且對被測物特性和雜散光不敏感，即使被測物體是強(qiáng)吸光材料，如黑色橡膠；或透明材料，如玻璃或者液體，都可以進(jìn)行正?？煽康臏y量。

三、光譜共焦和激光位移傳感器的對比

傳統(tǒng)的激光三角位移法受材質(zhì)、形狀、發(fā)熱等多種因素制約，測量精度有限，而光譜共焦可以完美地解決這些問題。

行業(yè)知識|光譜共焦傳感器如何實(shí)現(xiàn)超高精度測量

關(guān)于立儀

深圳立儀科技有限公司成立于 2014 年，位于深圳市光明區(qū)，是一家以生產(chǎn)銷售光譜共焦位移傳感器及其配套設(shè)備為主的精密光學(xué)民營高科技企業(yè)。從 2014 年成立至今立儀一直以打造高規(guī)格的光譜共焦位移傳感器并減少成本普及推廣為志向，匯集光學(xué)、機(jī)械、軟件人才晝夜奮戰(zhàn)，數(shù)年磨一劍，開發(fā)出自主知識產(chǎn)權(quán)的精密光譜共聚焦位移傳感器商業(yè)化產(chǎn)品系列。

審核編輯 黃宇