潔凈室用特殊光譜（黃光）論述-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司

隨著現(xiàn)代社會(huì)生物及半導(dǎo)體等高新技術(shù)及實(shí)驗(yàn)科技的大發(fā)展，國(guó)家“十三五”期間及“十四五”期間基因生物，生物制藥及半導(dǎo)體，精密電子等相關(guān)領(lǐng)域快速發(fā)展，對(duì)潔凈空間場(chǎng)所的需求越來(lái)越多，與此同時(shí)根據(jù)潔凈場(chǎng)所內(nèi)工作內(nèi)容和實(shí)驗(yàn)，檢驗(yàn)對(duì)像的不一樣產(chǎn)生了多種特殊照明需求，今天我就重點(diǎn)和大家來(lái)一起交流和探討在蝕刻和暴光等區(qū)域?yàn)槭裁葱枰捎锰厥恻S光照明？需要何種的黃光照明燈具？

一段時(shí)間以來(lái)我們?cè)谑袌?chǎng)或銷售人員處反復(fù)聽(tīng)到一個(gè)名詞，抗UV紫外線黃光燈，甚至我們?cè)趫D紙或技術(shù)資料看到電氣工程設(shè)計(jì)師在在選型設(shè)計(jì)時(shí)，一些燈具供應(yīng)商在做產(chǎn)品指標(biāo)特性及宣傳資料時(shí)亦用無(wú)紫外線黃光類來(lái)標(biāo)識(shí)或描述產(chǎn)品，這讓我很是困惑。是對(duì)相關(guān)技術(shù)的不了解還是對(duì)宣稱的內(nèi)容有各自的理解？做為業(yè)內(nèi)的一名從業(yè)人員，我認(rèn)為推動(dòng)行業(yè)正確認(rèn)知產(chǎn)品及技術(shù)參數(shù)指標(biāo)選型，糾偏及準(zhǔn)確定義和表述一個(gè)產(chǎn)品（包括產(chǎn)品名稱）是每一個(gè)從業(yè)者的責(zé)任和任務(wù)。

黃光照照明部分場(chǎng)所圖片

要回答上面的問(wèn)題，我們需要知道那些場(chǎng)所才需要特定黃光光譜的光；？特定黃光譜對(duì)作用對(duì)象的化學(xué)及物理機(jī)理作用？人造特定黃光譜的特性等，了解了這些我們就可以準(zhǔn)確的表述，設(shè)計(jì)和選擇合適的特殊光源及光譜類型，包括產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)及電氣控制方式等 首先我們來(lái)了解需要特定黃光譜的場(chǎng)所有那些，分別有那些具體或細(xì)微的要求。 一是曝光及顯影類場(chǎng)所為什么需要采用制制黃光照明？曝光就是通過(guò)光照射光阻，使其感光，是將涂布在Wafer表面的光阻感光的過(guò)程，同時(shí)將光罩上的圖形傳遞到Wafer上的過(guò)程；顯影就是將曝光完成后的圖形處理，類似于洗照片，是將曝光完成的Wafer進(jìn)行成象的過(guò)程，通過(guò)這個(gè)過(guò)程，成象在光阻上的圖形被顯現(xiàn)出來(lái)。

二是光刻和蝕刻類車間為什么要采用特制黃光照明？因?yàn)楣饪誊囬g旋涂光刻膠的厚度與曝光的光源波長(zhǎng)有關(guān)（不同級(jí)別的曝光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)不同的光刻膠種類和分辨率）：I-line最厚，約0.7～3μm；KrF的厚度約0.4～0.9μm；Arf的厚度約0.2～0.5μm。非敏感光源如（黃光照明）避免了光輻照后可能產(chǎn)生酸或產(chǎn)生交聯(lián)。照明光的光譜決定光刻膠涂膠厚度的關(guān)鍵參數(shù)：光刻膠的黏度（Viscosity），黏度越低，光刻膠的厚度越?。恍D(zhuǎn)速度，速度越快，厚度越薄。

綜上我們得到三個(gè)對(duì)于選擇黃光照明的技術(shù)維度重點(diǎn)。 1：黃光還是屬于照明光而裝飾光或者叫顏色光，所以正確是要采用黃光而非黃色光； 2：特制光譜是要與光刻膠化學(xué)反應(yīng)不敏感光源（光譜），只要滿足了這點(diǎn)也是可以用在有以上特定照明要求的場(chǎng)所的，重點(diǎn)是要不產(chǎn)生強(qiáng)化學(xué)關(guān)系的非敏感光源，如不敏感光紅光，綠光也可以用在此類場(chǎng)所，對(duì)作業(yè)對(duì)象亦可達(dá)到要求。 3：無(wú)紫外線照明光源（光譜）。含有≤405nm紫外線或 ≤ 500nmr的藍(lán)紫可見(jiàn)光則屬敏感光源，這里重點(diǎn)為無(wú)紫外光譜的光源即可運(yùn)用于黃光照明車間（如今的LED人造照明光源已基本不含有紫外光譜，藍(lán)光芯片激發(fā)的光400nmn以下光譜幾乎完全沒(méi)有）。

不同技術(shù)代照明光的光譜圖 基于以三點(diǎn)技術(shù)歸類，我們即可清楚的設(shè)計(jì)和選型所需特殊照明光譜，但此處有一個(gè)大家需要重視的誤區(qū)，首先我們需要對(duì)產(chǎn)品和稱呼定義，原來(lái)的熒光燈時(shí)代黃光燈表述為抗UV紫外線黃光燈這個(gè)稱呼或表述是不正確，環(huán)境空間內(nèi)并沒(méi)有紫外光產(chǎn)生源何來(lái)的抗UV紫外一說(shuō)？至少應(yīng)表述為漏或無(wú)紫外線照明光這個(gè)稱呼，筆者認(rèn)為最準(zhǔn)確的稱呼應(yīng)為“無(wú)敏感光譜黃光照明燈具”，因?yàn)樽贤夤庖彩敲舾泄庾V，

同時(shí)不敏感光譜也并非只有黃光，如紅光，綠光也是屬不敏感光譜。其次在以LED固體照明為主流人造光照明時(shí)代，我們的人造可光譜中很少有紫外線，特別是強(qiáng)化學(xué)敏感的365nm光譜，同時(shí)新型的LED照明我們是可以通過(guò)對(duì)色粉的控制來(lái)實(shí)驗(yàn)精準(zhǔn)的光譜控制，所以現(xiàn)如今我們對(duì)特定場(chǎng)所用的不敏感黃光及其他特殊場(chǎng)景用照明應(yīng)當(dāng)以當(dāng)下的技術(shù)和產(chǎn)品來(lái)重新定義和表述，把老舊落后或錯(cuò)誤的技術(shù)和理念更正為最新的正確的產(chǎn)品名稱和技術(shù)方案等 。

為什么大家或主流都是選擇黃光而非紅光或綠光等其他不敏感光源來(lái)做照明呢？這主要是基于以下二個(gè)原因；一是人因照明的需要，我們視神經(jīng)及光照顏色反射回饋習(xí)慣里人眼最能適應(yīng)和接受在黃光下的視覺(jué)采納及作業(yè)；二是同時(shí)大多數(shù)的感光膠(光阻、光刻膠)的光敏感范圍皆在450nm以下，故原則上無(wú)塵室的光線波長(zhǎng)只要在500nm以上就算是安全，不會(huì)造成提早感光及誤曝的情況，則紅光、黃光、綠光、藍(lán)光皆可以被采用於無(wú)塵室的照明，但因其下列原因光與環(huán)境，情緒的關(guān)系而選擇“黃光”作為該無(wú)塵室的主要照明。

?紅光無(wú)塵室，若長(zhǎng)期待上8個(gè)小時(shí)，心情較會(huì)變得心浮氣躁。

?綠光無(wú)塵室，在綠光的投射下，見(jiàn)到無(wú)塵室內(nèi)的同事，會(huì)變成"看到鬼"。

?藍(lán)光無(wú)塵室，因藍(lán)光波長(zhǎng)太靠近紫外光，導(dǎo)致較長(zhǎng)波長(zhǎng)(436nm)敏感之光阻，可能造成誤曝光。

?黃光無(wú)塵室，是物理及人性方面最能被為接受的。

綜合以上原因，故一般都采用不敏感黃光照明 以此同時(shí)我們?cè)诟闱宄它S光燈的機(jī)理及使用原則后，對(duì)產(chǎn)品我們也應(yīng)該有其對(duì)應(yīng)的定義，只要符合其不含紫外，不含敏感光譜（500nmn以內(nèi)的光譜）的燈具就可以應(yīng)用在需要不敏感光源照明的場(chǎng)所。在光譜滿足這一要求的情況下燈具的結(jié)構(gòu)，材料及電氣并不需要特殊的規(guī)定或表述，以減少一些企業(yè)或人為對(duì)產(chǎn)品的復(fù)雜設(shè)計(jì)和宣傳，對(duì)整個(gè)行業(yè)的成本及發(fā)展是非常有益處的。特殊光譜及光品質(zhì)照明環(huán)境中，基于光學(xué)與生物學(xué)，化學(xué)的的功能性要求是選型及檢驗(yàn)產(chǎn)品是否合格及適用的最重要指標(biāo)要求。