電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文 / 吳子鵬）日前，日本關(guān)東電化工業(yè)株式會(huì)社（以下簡稱 “關(guān)東電化”）發(fā)布公告稱，2025 年 8 月 7 日凌晨 4 時(shí) 30 分，該公司位于群馬縣澀川市的三氟化氮（NF?）生產(chǎn)設(shè)施發(fā)生爆炸并引發(fā)火災(zāi)，造成一名員工死亡、一人受傷。此次事故導(dǎo)致該工廠兩條生產(chǎn)線中的一條嚴(yán)重?fù)p毀，三氟化氮產(chǎn)能全面中斷，預(yù)計(jì)至少停產(chǎn) 6 個(gè)月。

值得注意的是，關(guān)東電化是全球第三大三氟化氮（NF?）供應(yīng)商，其澀川工廠的年產(chǎn)能為 3700 噸，占全球 NF?產(chǎn)能的 8%。爆炸導(dǎo)致該工廠短期無法恢復(fù)生產(chǎn)，預(yù)計(jì) 2025 年全球 NF?供應(yīng)將直接減少 1850 噸（半年產(chǎn)能），對需要 NF?材料的產(chǎn)業(yè)鏈直接造成沖擊，其中就包含半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。

NF?的主要應(yīng)用和斷供影響

NF?是一種強(qiáng)氧化劑，因其獨(dú)特的化學(xué)性質(zhì)和高純度要求，廣泛應(yīng)用于高科技和工業(yè)領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，NF?主要用于精密清洗與蝕刻：它是半導(dǎo)體晶圓制造中腔體清洗的核心材料，可去除沉積在反應(yīng)腔內(nèi)壁的硅、金屬雜質(zhì)及聚合物殘留。其獨(dú)特優(yōu)勢在于，在氫稀釋環(huán)境下，NF?與 H?反應(yīng)生成 HF，僅蝕刻二氧化硅而不損傷硅基底，這對 3nm 以下先進(jìn)制程尤為關(guān)鍵；且能在 450℃以下實(shí)現(xiàn)高效清洗，避免高溫對脆弱晶體管結(jié)構(gòu)的損害，支持 AI 芯片、GPU 等高性能器件的量產(chǎn)。此外，NF?還用于等離子體蝕刻和化學(xué)氣相沉積（CVD）的輔助氣體，例如在 FinFET 結(jié)構(gòu)中蝕刻高深寬比溝槽，或在 3D NAND 堆疊層間沉積隔離層。

在顯示面板與太陽能電池領(lǐng)域，NF?是關(guān)鍵耗材。在顯示面板行業(yè)，它可用于清洗蒸鍍設(shè)備腔體，確保有機(jī)發(fā)光材料的均勻沉積。據(jù)悉，韓國三星、LG 等廠商的 6 代以上產(chǎn)線對 NF?的需求占全球顯示面板領(lǐng)域的一半以上。而在光伏制造行業(yè)，硅片表面鈍化層沉積前，經(jīng) NF?清洗可提升鈣鈦礦電池的轉(zhuǎn)換效率。

因此，若 NF?供應(yīng)中斷，將對相關(guān)行業(yè)產(chǎn)生顯著沖擊。比如在半導(dǎo)體領(lǐng)域，關(guān)東電化占日本 NF?產(chǎn)量的 90%，日本的 NF?供應(yīng)幾乎完全依賴該公司，這凸顯了供應(yīng)鏈過度集中的風(fēng)險(xiǎn)。另外，NF?是半導(dǎo)體制造中用量最大的電子特氣，其純度需達(dá) 99.9999%（6N 級(jí)）以滿足先進(jìn)制程需求，而全球僅 5 家企業(yè)掌握 5N 級(jí)以上量產(chǎn)技術(shù)。目前，關(guān)東電化已暫停部分業(yè)務(wù)，啟動(dòng)設(shè)備檢修和安全評估，承諾盡快恢復(fù)生產(chǎn)并防止類似事件重演。但市場預(yù)計(jì)其復(fù)產(chǎn)至少需 1-1.5 年，期間業(yè)績將顯著承壓。

關(guān)東電化有多個(gè)存儲(chǔ)客戶

需要關(guān)注的是，關(guān)東電化有多個(gè)存儲(chǔ)領(lǐng)域的客戶，包括三星、鎧俠、美光等。由于 NF?供應(yīng)不足，存儲(chǔ)芯片制造商可能需要調(diào)整生產(chǎn)計(jì)劃，甚至?xí)和２糠稚a(chǎn)線，導(dǎo)致存儲(chǔ)芯片生產(chǎn)延遲。這將直接影響存儲(chǔ)芯片的市場供應(yīng)，尤其是對于依賴 NF?的先進(jìn)制程存儲(chǔ)芯片，如 3D NAND 閃存等。

受供應(yīng)減少和生產(chǎn)成本上升影響，存儲(chǔ)芯片價(jià)格可能會(huì)上漲。這將對存儲(chǔ)芯片的下游應(yīng)用市場，如智能手機(jī)、電腦、數(shù)據(jù)中心等，產(chǎn)生連鎖反應(yīng)，導(dǎo)致相關(guān)產(chǎn)品價(jià)格上漲。彭博社指出，鎧俠預(yù)計(jì)不會(huì)對生產(chǎn)或 7 月至 9 月的收益產(chǎn)生影響，并引用了其擁有多個(gè)供應(yīng)商和庫存作為支撐。

當(dāng)然，日本本土芯片制造同樣需要保障自身的供應(yīng)安全。據(jù)日刊報(bào)道，臺(tái)積電的熊本工廠（位于熊本縣菊池市）于 2024 年開始運(yùn)營，其 NF?從多個(gè)供應(yīng)商處獲取，其中包括關(guān)東電化。問題更為嚴(yán)峻的是日本瑞昱，該公司的 NF?幾乎完全依賴關(guān)東電化。有日媒報(bào)道稱，日本經(jīng)濟(jì)、貿(mào)易和產(chǎn)業(yè)部可能會(huì)直接介入解決此事，舉措包括從韓國直接進(jìn)口 NF?。

利好國內(nèi) NF?材料廠商？

從產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)來看，關(guān)東電化爆炸事件給國產(chǎn) NF?廠商帶來了顯著利好。關(guān)東電化爆炸導(dǎo)致全球 NF?供應(yīng)減少約 1850 噸（半年產(chǎn)能），占全球產(chǎn)能的 8%。這一供應(yīng)缺口為國產(chǎn) NF?廠商提供了巨大的市場機(jī)會(huì)。

此外，三井化學(xué)計(jì)劃在 2026 年退出 NF?市場，預(yù)計(jì) 2026 年全球 NF?缺口將達(dá)到數(shù)千噸。這些事件都為國內(nèi) NF?供應(yīng)商提供了機(jī)遇。中國特氣等廠商有望填補(bǔ)部分供應(yīng)缺口，加速半導(dǎo)體氣體的國產(chǎn)替代進(jìn)程。例如，中船特氣、南大光電等企業(yè)正在加速產(chǎn)能建設(shè)，提升市場供應(yīng)能力。

目前，國內(nèi)的 NF?供應(yīng)商主要有中船特氣、南大光電、昊華科技、福建德爾、廣鋼氣體、華特氣體等。

其中，中船特氣已具備大規(guī)模生產(chǎn) NF?的能力，技術(shù)成熟度高，成本優(yōu)勢明顯，其產(chǎn)品已進(jìn)入國內(nèi)外主流面板廠及部分成熟制程半導(dǎo)體廠的供應(yīng)鏈。中船特氣的高純 NF?純度可達(dá)到 5N 級(jí)別，主要產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)處于行業(yè)一流水平，各類雜質(zhì)含量較低，處于全球領(lǐng)先地位。這表明其產(chǎn)品能夠滿足高端半導(dǎo)體制造對 NF?純度的嚴(yán)格要求。同時(shí)，中船特氣是國內(nèi)最早開始從事電子特種氣體研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的單位之一，在 NF?生產(chǎn)技術(shù)方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，生產(chǎn)工藝成熟度高，能夠穩(wěn)定地生產(chǎn)高質(zhì)量的 NF?產(chǎn)品。

在產(chǎn)能方面，中船特氣的 NF?產(chǎn)能已達(dá) 18500 噸 / 年，超過韓國 SK Specialty（13500 噸），成為全球三氟化氮產(chǎn)能最大的供應(yīng)商。其呼和浩特子公司高純電子氣體項(xiàng)目（一期）新增 7500 噸產(chǎn)能已投產(chǎn)，進(jìn)一步鞏固了其在全球 NF?市場的領(lǐng)先地位。目前，中船特氣的 NF?已經(jīng)打入臺(tái)積電、美光、海力士、英特爾、英飛凌、格羅方德、中芯國際、長江存儲(chǔ)、長鑫存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)、華潤集團(tuán)、LGD、京東方、華星光電等知名企業(yè)的供應(yīng)鏈。

結(jié)語

此次日本關(guān)東電化三氟化氮工廠爆炸事故，疊加三井化學(xué) 2026 年的退出計(jì)劃，不僅加劇了全球 NF?供應(yīng)的緊張態(tài)勢，更意外為國內(nèi)電子特氣產(chǎn)業(yè)打開了加速成長的窗口。全球 8% 的產(chǎn)能缺口與未來數(shù)千噸的潛在供需失衡，既暴露了半導(dǎo)體等高端制造領(lǐng)域供應(yīng)鏈過度集中的風(fēng)險(xiǎn)，也讓具備技術(shù)積累與產(chǎn)能優(yōu)勢的中國廠商迎來了關(guān)鍵機(jī)遇。

國內(nèi)企業(yè)中以中船特氣為代表，該公司憑借 5N 級(jí)以上高純產(chǎn)品的技術(shù)突破、1.85 萬噸 / 年的全球最大產(chǎn)能，以及已打入臺(tái)積電、美光、中芯國際等國內(nèi)外主流供應(yīng)鏈的扎實(shí)布局，正從 “填補(bǔ)缺口” 向 “主導(dǎo)市場” 邁進(jìn)。