MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanicalSystem)，微機(jī)電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。你可以把它理解為利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，用微米技術(shù)在芯片上制造微型機(jī)械，并將其與對應(yīng)電路集成為一個(gè)整體的技術(shù)。所以它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺。

優(yōu)點(diǎn)：相對于傳統(tǒng)的機(jī)械，它們的尺寸更小，不超過一個(gè)厘米，甚至僅僅為幾個(gè)微米，其厚度就更加微小。采用以硅為主的材料，電氣性能優(yōu)良，硅材料的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)，密度與鋁類似，熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢。采用與集成電路(IC)類似的生成技術(shù)，可大量利用IC生產(chǎn)中的成熟技術(shù)、工藝，進(jìn)行大批量、低成本生產(chǎn)，使性價(jià)比相對于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度提高。

隨著電子技術(shù)的發(fā)展，MEMS的應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣泛，由**早的工業(yè)、軍用航空應(yīng)用走向普通的消費(fèi)市場。 軍用與航空屬于所謂的高價(jià)值MEMS應(yīng)用領(lǐng)域，但是這兩個(gè)領(lǐng)域的用量太小了，一年也就四千萬美金左右，增長空間也是有限的。醫(yī)療電子上的MEMS器件價(jià)值也不錯(cuò)，它的傳感器的平均銷售價(jià)格遠(yuǎn)高于其它可比的MEMS領(lǐng)域。總體來看，一年高價(jià)值MEMS產(chǎn)業(yè)的營業(yè)收入將達(dá)到3億美元左右。但是應(yīng)用廣泛的當(dāng)屬于汽車電子產(chǎn)業(yè)和消費(fèi)電子應(yīng)用市場，這兩大領(lǐng)域占了MEMS傳感器市場的60%以上。我們下面分析一下這兩個(gè)主要的應(yīng)用領(lǐng)域。

汽車電子MEMS傳感器：

汽車電子產(chǎn)業(yè)被認(rèn)為是MEMS傳感器的應(yīng)用高潮的推動者，MEMS傳感器在汽車上應(yīng)用的快速發(fā)展主要是受益于各國政府全面推出汽車安全規(guī)定(比如要求所有汽車采用TPMS系統(tǒng))和汽車智慧化的發(fā)展趨勢。全球平均每輛汽車包含10個(gè)傳感器，在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器，車越好，所用的MEMS就越多，BMW740i汽車上就有70多只MEMS。MEMS傳感器可滿足汽車環(huán)境苛刻、可靠性高、精度準(zhǔn)確、成本低的要求。其應(yīng)用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統(tǒng)(ABS)、電子車身穩(wěn)定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(HAS)、胎壓監(jiān)控(EPMS)、引擎防抖、車輛傾角計(jì)量和車內(nèi)心跳檢測等等。

目前，壓力傳感器、加速計(jì)、陀螺儀與流量傳感器四類器件合計(jì)占汽車MEMS系統(tǒng)的99%。其五年增長率均在3-12%。MEMS壓力傳感器是汽車中應(yīng)用的傳感器，汽車用MEMS壓力傳感器的價(jià)格大概在5~7美元。在汽車領(lǐng)域，MEMS壓力傳感器營業(yè)收入2013年預(yù)計(jì)達(dá)到12.6億美元，占當(dāng)年總體產(chǎn)業(yè)營業(yè)收入的74%。至少18個(gè)汽車應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⒋龠M(jìn)壓力傳感器的增長，包括：輪胎壓力，電子穩(wěn)定控制系統(tǒng)中的剎車傳感器，側(cè)面氣囊，與日益嚴(yán)格的排放標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)的引擎控制，大氣壓力與廢氣再循環(huán)壓力。