AT切割水晶振動子作為產(chǎn)生IC等基準(zhǔn)信號的元件，被廣泛應(yīng)用于手機、智能電話、保健產(chǎn)品等各種電子設(shè)備。近年來，隨著設(shè)備的高功能化，對元件精準(zhǔn)度的要求也在日益提高。而以往的機械研磨加工※1在加工精度上存在一定的局限性，不僅元件特性參差不齊，而且設(shè)計試制往往需要2～3個月，這些都成為待解課題。

　　此次研發(fā)的產(chǎn)品，運用了可以在1片水晶基板(晶圓)上形成多個微細(xì)圖案的、采用光刻加工的獨有制造技術(shù)，具有如下特點。

　　1.表示振蕩時阻抗程度的CI值降至60Ω，與機械研磨加工品相比改善了25%

　　在成功抑制了水晶元件的尺寸偏差和加工變形的基礎(chǔ)上，應(yīng)用高超的設(shè)計技術(shù)，將水晶元件加工成本公司獨有的橢圓、凸面(臺式※2 )形狀，使新產(chǎn)品的CI值從原來的80Ω降到至60Ω，成功改善了25%。

　　2.設(shè)計試制周期最短可縮短到1個月

　　機械研磨加工需要先將每個水晶元件加工成單片之后再進行研磨，因此需要2～3個月的周期，而光刻加工不需要研磨加工工序，在1個水晶晶圓上可同時形成多個元件，因此，可將設(shè)計試制周期最短縮短到1個月，即原來的一半。

　　京瓷金石將運用新開發(fā)的AT切割水晶振動子光刻加工制造技術(shù)，在保持元器件高精準(zhǔn)度的基礎(chǔ)上，為進一步實現(xiàn)小型化而不懈努力。

　　■京瓷金石所擁有的高端元素科技的匯集

　　本次開發(fā)的新產(chǎn)品，不僅運用了光刻加工技術(shù)，還融合了京瓷金石至今積累的下列技術(shù)。

　　1.歷經(jīng)多年積累的高品質(zhì)人工水晶培育技術(shù)

　　通過京瓷金石歷經(jīng)50多年的磨礪所積累的卓越的人工水晶培育技術(shù)(培育爐條件、培育材料、清洗等)、以及可培育直徑達650mm的大型人工水晶培育爐，可以將無缺陷、高Q值※3的大型人工水晶用作光刻加工的原材料。

　　2.高精準(zhǔn)晶圓加工技術(shù)

　　通過巧妙融合京瓷金石獨有的、可將人工水晶進行高精準(zhǔn)切割、研磨加工的技術(shù)，將決定AT切割水晶振動子頻率的晶圓厚度加工到納米級的精度(平面度、平行度)。

　　3.高超的設(shè)計技術(shù)

　　京瓷金石為了將振動能量封入水晶元件內(nèi)，運用高超的設(shè)計、評價技術(shù)，將水晶元件加工成本公司獨有的橢圓、臺式形狀，從而成功抑制了CI值。

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　　※1 機械研磨加工：使用切削工具或機床研磨原材料的一種加工方式。

　　※2臺式形狀：所謂臺式(Mesa)，是指通過差別侵蝕形成的臺面狀的凸臺。通過蝕刻等方式將截面加工成凸?fàn)畹木Q為臺式形狀。

　　※3 高Q值：表示振蕩發(fā)生容易度的Q值(Quality factor)越高，說明材料特性越穩(wěn)定。