金屬淀積工藝的核心類型與技術(shù)原理
在集成電路制造中,金屬淀積工藝是形成導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(如互連線、柵電極、接觸塞)的關(guān)鍵環(huán)節(jié),主要包括蒸發(fā)、濺....
PN結(jié)的形成機制和偏置特性
PN 結(jié)是構(gòu)成二極管、雙極型晶體管、MOS 晶體管等各類半導(dǎo)體器件的核心結(jié)構(gòu),其本質(zhì)是 p 型半導(dǎo)體....
化學(xué)氣相淀積工藝的常見類型和技術(shù)原理
APCVD 的反應(yīng)腔結(jié)構(gòu)如圖所示,系統(tǒng)通過專用傳送裝置實現(xiàn)硅片的自動化運送,反應(yīng)氣體從反應(yīng)腔中部區(qū)域....
化學(xué)氣相淀積工藝的核心特性和系統(tǒng)分類
化學(xué)氣相淀積(CVD)是借助混合氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),在硅片表面沉積一層固體薄膜的核心工藝。在集成電路制....
半導(dǎo)體中的合金制備技術(shù)詳解
合金本質(zhì)是金屬與其他金屬或非金屬經(jīng)混合熔化、冷卻凝固后形成的具有金屬性質(zhì)的固體產(chǎn)物,而在集成電路工藝....
什么是晶圓切割與框架內(nèi)貼片
在半導(dǎo)體制造的精密工藝鏈條中,芯片切割作為晶圓級封裝的關(guān)鍵環(huán)節(jié),其技術(shù)演進與設(shè)備精度直接關(guān)系到芯片良....
CMOS集成電路中閂鎖效應(yīng)的產(chǎn)生與防護
閂鎖效應(yīng)(Latch-up)是CMOS集成電路中一種危險的寄生效應(yīng),可能導(dǎo)致芯片瞬間失效甚至永久燒毀....
功率半導(dǎo)體晶圓級封裝的發(fā)展趨勢
在功率半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域,晶圓級芯片規(guī)模封裝技術(shù)正引領(lǐng)著分立功率器件向更高集成度、更低損耗及更優(yōu)熱性能方....